离子检测模块相关的故障代码
g43 incubator * pm eject blade * malfunction
g12 incubator * rotor * malfunction
可能的原因
l pm推片尺未能将干片推至离子检测头下，导致孵育盘被卡住。
l 离子检测头未能将废干片丢弃，推入下一个离子干片时卡住。
自行处理方法
l 检查离子干片丢弃口是否有卡片，若有清除。
l 手动复位pm推片尺，使孵育盘能无阻碍转动。
l 将仪器重新初始化。
故障处理图解
ocd ls提供